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從科研實(shí)驗(yàn)到工業(yè)制造，很多涉及氣體應(yīng)用的行業(yè)都可能會使用混合型氣體；而且在很多實(shí)際應(yīng)用中，需要進(jìn)行多種氣體定量混合配氣，將不同氣體按一定的比例混合到一起，配出不同濃度、多種組分的工藝氣體后才能更好的滿足工藝性能的要求。對于單一組分的氣體，選...

對于氣體質(zhì)量流量控制器MFC來說，在有些場景，例如半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)，分析儀器行業(yè)，科研實(shí)驗(yàn)場景等，需要對氣體進(jìn)行微流控制，使其流量很小，需要小于1SCCM，同時這種微流控制也需要較高的響應(yīng)時間，因?yàn)榱髁亢苄。查g就會在氣路中通過所需的流量，所...

氣體是電子工業(yè)的“血液”，尤其在半導(dǎo)體、光伏、光纖、顯示器等行業(yè)中是關(guān)鍵性材料。例如，在集成電路制造中氣體的占比僅次于硅片，占晶圓制造成本的13%。主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子工業(yè)涉及的氣體品種繁多，用途五花八門，...

質(zhì)量流量計MFM、流量控制器MFC、以及電子壓力控制器EPC是精度較高的流量儀表，在科研、醫(yī)療、食品、半導(dǎo)體及各行業(yè)工業(yè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用的流量儀表產(chǎn)品是通過電流或電壓模擬信號，或者數(shù)字通訊（Modbus、Devicenet，P...

質(zhì)量流量控制器不僅能檢測總流量，并且能在檢測時自動控制總流量?？蛻裟芨鶕?jù)本身的所需設(shè)置總流量。一般來說，這種質(zhì)量流量計僅用作流量測量或監(jiān)測。該流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質(zhì)量流量（無氣溫和負(fù)擔(dān)應(yīng)對）。傳感器受熱橋測得的總流量...

本文所述的小口徑、微小流量液體流量控制器是指流道管徑小于2”，流量小于2500Kg/h的小流量；尤其是對管徑更小，而流量小于1Kg/h，或者1000ml/h的更小流量的控制。對于液體流量計（只測流量，不控制流量），市場上的種類很多，但是可以...